Elektroninis skenuojantis mikroskopas:
El. pluoštelio skersmuo 2 nm arba mažesnis. El. pluoštelio skersmuo, esant 1 kV anodinei įtampai 4 nm arba mažesnis. Didinimas 20 - 1 000 000 arba geriau. Elektronų šaltinis Schottky lauko emiteris. Elektronų pluoštelio srovės tankis didesnis nei 7500 A/cm² 2 nm pluošteliui. Detektoriai Antrinių elektronų (SE), atspindėtų elektronų (BSE).
Panaudojimo galimybės (konkrečios veiklos): Nano ir mikrostuktūrų tyrimas
Prietaiso darbo laikas, skiramas atvirai prieigai (val. per mėn) 60 val.
Prietaiso naudojimosi įkainiai (eur už val.) be PVM taikant visą kainą 60 €/val.
Prietaiso naudojimosi įkainiai (eur už val.) be PVM taikant lengvatines sąlygas 38 €/val.
Elektroninės litografijos įrenginys:
Garantuotas minimalus darinio dydis 20 nm. Pavyzdžio pozicionavimo įtaisas - grįžtamuoju ryšiu valdomas pozicionieriaus su 100x100 mm pozicionavimo lauku. Pavyzdžio pozicionavimo tikslumas 2 nm. Sudūrimo ir persidengimo tikslumas geriau nei 40 nm, vertinant satistiškai pagal formulę |vidurkis|+3σ. Eksponuojamo pavyzdžio dydis 150 mm (6’’) skersmens diskinis, 100x100m kvadratinis.
Panaudojimo galimybės (konkrečios veiklos): Sukurti didelio tikslumo nano ir mikrostruktūrų „piešinius“ ant fotorezistu padengtų plokštelių
Prietaiso darbo laikas, skiramas atvirai prieigai (val. per mėn) 60 val.
Prietaiso naudojimosi įkainiai (eur už val.) be PVM taikant visą kainą 100 €/val.
Prietaiso naudojimosi įkainiai (eur už val.) be PVM taikant lengvatines sąlygas 60 €/val.
Rentgeno spektometras EDS:
Elektroninė litografija. Garantuotas minimalus darinio dydis 20 nm. Pavyzdžio pozicionavimo įtaisas su 100x100 mm pozicionavimo lauku. Pavyzdžio pozicionavimo tikslumas 2 nm arba geriau. Eksponuojamo pavyzdžio dydis 150 mm (6’’) skersmens, arba 100x100 mm kvadratinis
Panaudojimo galimybės (konkrečios veiklos): Energetinių rentgeno spindulių spektru galime atlikti pavyzdžių, stebimų SEM, mikroanalizę.
Prietaiso darbo laikas, skiramas atvirai prieigai (val. per mėn): 60 val.
Prietaiso naudojimosi įkainiai (eur už val.) be PVM taikant visą kainą: 10 €/val. + SEM.
Prietaiso naudojimosi įkainiai (eur už val.) be PVM taikant lengvatines sąlygas: 5 €/val. + SEM.
Personalas aptarnaujantis prietaisą: Dr. Marius Mikolajūnas 8 601 27564 [email protected]
