Mokslinių tyrimų ir technologinės plėtros paslaugos:
Panevėžio mechatronikos centro mikro ir nano sistemų inžinerijos mokslininkų grupė teikia mokslinių tyrimų bei technologinės plėtros paslaugas:
· mechatroninių, mikro ir nano sistemų kūrimas ir tyrimai;
· plonų sluoksnių technologijos, jų taikymas mikro-nano elektromechaninių sistemų gamyboje.
Be to, gali atlikti tyrimus bei su jais susijusius matavimus pagal užsakymus:
· elektroninė skenuojanti mikroskopija (geresnis nei 2 nm skiriamumas techniniams objektams; geresnis nei 5 nm skiriamumas biologiniams objektams);
· atominių jėgų mikroskopija (geresnis nei 0,5 nm skiriamumas);
· elektroninė litografija (garantuotas mažiausias matmuo 20 nm);
· optinė (UV) litografija (garantuotas mažiausias matmuo 2 μm);
· ploni (<2 μ) elektriškai laidūs (metalų) ir dielektrikų (oksidų, nitridų) padengimai;
· reaktyvus joninis ėsdinimas.
