Panevėžio mechatronikos centras turi tokią įrangą skirtą studijų procesui ir mokymui:

1. Pneumoautomatikos stendai - 6 darbo vietos;
2. Elektropneumatikos stendai - 6 darbo vietos;
3. Hidroautomatikos stendai - 2 darbo vietos;
4. Programuojamieji loginiai valdikliai - 6 darbo vietos;
5. Jutikliai gamybinėse sistemose - 6 darbo vietos;
6. Pramonės įrengimų automatinio valdymo sistemos - 6 darbo vietos;
7. Dažninės pavaros - 4 darbo vietos;
8. Elektrotechnikos laboratorinių kompiuterizuoti stendai - 4 darbo vietos;
9. Kompiuterinės valdymo sistemos - 4 darbo vietos;
10. Robotikos modeliavimo programinė įranga - 4 darbo vietos;
11. Programuojamieji loginiai valdikliai mechatroninės sistemose - 4 darbo vietos;
12. Elektronikos kompiuterizuoti stendai - 2 darbo vietos.

Įranga moksliniams tyrimams

       1.      Atominės absorbcijos spektrometras.

2.      UV/Vis spektrometras

3.      Elektroninis skenuojantis mikroskopas:

                             El. pluoštelio skersmuo 2 nm arba mažesnis.

                             El. pluoštelio skersmuo, esant 1 kV anodinei įtampai4 nm arba mažesnis.

                             Didinimas 20 - 1 000 000 arba geriau.

                             Elektronų šaltinis Schottky lauko emiteris.

                             Elektronų pluoštelio srovės tankis didesnis nei 7500 A/cm² 2 nm pluošteliui.

                             Detektoriai  Antrinių elektronų (SE), atspindėtų elektronų (BSE).

4.      Elektroninės litografijos įrenginys:               

                             Garantuotas minimalus darinio dydis 20 nm arba geriau.

                             Pavyzdžio pozicionavimo įtaisas - grįžtamuoju ryšiu valdomas pozicionieriaus su 100x100 mm pozicionavimo lauku.

                             Pavyzdžio pozicionavimo tikslumas 2 nm arba geriau.

                             Sudūrimo ir persidengimo tikslumas geriau nei 40 nm, vertinant satistiškai pagal formulę |vidurkis|+3σ.

                             Eksponuojamo pavyzdžio dydis 150 mm (6'') skersmens diskinis, 100x100 mm kvadratinis arba geriau.

5.      EDS (spektroskopijos priedas, integruotas su SEM):

                      Detektorius - SDD (silicon drift detector).

                             Energetinė skyra - 133, 129 ir 127 eV (Mn Kα) nuo 1 iki 100 000 cps.

                             Skaičiavimo ruožas -  1 000 000 arba daugiau.

                             Aktyvi sritis - 10 mm².

                             Aptinkami elementai - nuo boro (5) iki Americio (95) arba geriau.

6.      Jonoplazminio ėsdinimo įrenginys

7.      Skenuojančiojo zondo mikroskopas

                      Zondavimo tipas -atominių jėgų (AFM).

                             Skenavimo ruožas -100 μm arba geriau.

                             Z ruožas -10 μm arba geriau.

                             Z skyra -0,4 nm arba geriau.

                             XY skyra -2 nm arba geriau.

8.      Fotorezisto užnešimo centrifuga